早在1738年，瑞士人丹尼爾伯努利以第一伯努利方程為基礎(chǔ)利用差壓法測量水流量。后來意大利人G.B.文丘里研究用文丘里管測量流量，并于1791年發(fā)表了研究結(jié)果。
1886年，美國人赫謝爾應(yīng)用文丘里管制成了測量水流量的的實(shí)用測量裝置。
20世紀(jì)初期到中期，原有的測量原理逐漸走向成熟，人們不再將思路局限在原有的測量方法上，而是開始了新的探索。
到了30年代，又出現(xiàn)了探討用聲波測量液體和氣體的流速的方法聲波測量流量的方法，但到第二次世界大戰(zhàn)為止未獲得很大進(jìn)展，直到1955年才有了應(yīng)用聲循環(huán)法的馬克森流量計(jì)的問世，用于測量航空燃料的流量。
20世紀(jì)的60年代以后，測量儀表開始向精密化、小型化等方向發(fā)展。
隨著集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展，具有鎖相環(huán)路技術(shù)的超聲（波）流量計(jì)也得到了普遍應(yīng)用，微型計(jì)算機(jī)的廣泛應(yīng)用，進(jìn)一步提高了流量測量的能力，如激光多普勒流速計(jì)應(yīng)用微型計(jì)算機(jī)后，可處理較為復(fù)雜的信號。